Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации. Вильям Уайт.
Москва, издательство "Клинрум", 2002 год, 304 с.
DjVu 7,35 МБ 300 dpi. Качество неплохое, но сдвоенные развороты. Хотя сканы даже обрезаны - прямо со сдвоенными разворотами, и грязь практически отсутствует, сканы очень чистые. Читабельность неплохая. OCR нет и я не стал вставлять - т.к. сдвоенные развороты. Тоже надо переделывать эту книгу.
Источник - библиотека Homelab.